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              復旦大學快速退火爐RTP完成驗收
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              復旦大學快速退火爐RTP完成驗收

              復旦大學微電子學院從載德半導體技術有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐,一臺用于快速退火氧化工藝(RTO),一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產,放置在復旦大學張江校區,本月均通過了學校組織的驗收,正式投入科研工作。

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